1、卷繞系統
　　真空鍍膜設備的卷繞系統主要由直流電機傳動的放卷輥、收卷輥、鍍膜鼓、導向輥、張力測量（控制）輥、展平輥以及電阻測試輥等部件組成，它的作用是按照速度和張力將基材薄膜輸送到鍍膜區進行鍍制后，再將已鍍膜的基材薄膜收卷成筒狀卷膜。通過控制薄膜卷繞的速度、張力以及展平輥的角度等工藝參數，可以避免產生皺紋而得到收卷整齊的膜卷。
　　2、速度控制和張力控制
　　速度控制：帶狀基體的線速度恒定是保持膜厚均勻的重要條件。卷繞系統帶材的速度控制多數采用以電流控制為主的速度恒定控制，速度都可以根據產品的要求，事先設定、自動調節。
　　張力控制：薄膜張力控制在卷繞真空鍍膜設備中是一個關鍵問題。張力控制同膜的跑偏、暴筋、起皺等現象均有關系。
　　3、蒸發系統由蒸發源夾座（電極）、蒸發源、送絲機構等組成。
　　4、PVD鍍膜設備真空室開啟機構：大型雙室半連續蒸發鍍膜機的開啟機構一般由真空室體，卷繞機構，密封大板，動力柜，行程開關和小車組成。根據鍍膜基本材料的幅寬，確定單門還是雙門開啟。常見的真空室多是單門開啟，蒸發器仍在鍍膜室內。
　　5、屏蔽組件：就是要在膜上屏蔽出未鍍膜的條紋或網紋，這是電容器膜的要求，普通電容器的屏蔽第紋是沿著基膜的縱向延伸的，安全電容器膜的屏蔽條紋是網紋。
　　6、真空鍍膜機系統：一般卷繞真空鍍膜設備的卷繞室和鍍膜室各有一套真空泵組。通常，國內外的設備所采用的真空抽氣系統的蒸鍍室主泵為測報擴散泵，卷繞室主泵為大抽速的油擴散噴射泵。