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      真空鍍膜設備
      科技創新為動力 專業服務為目標
      

      


	
	

      
  
      
	
      
		
	
      
    
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					常規配置
      
					? 真空泵系統
      
					低真空泵：旋片式機械泵（蒸壓機械泵：930m3 h-1）
      
					高真空泵：擴散泵（選擇：低溫泵或滑輪分子泵）
      
					
      
					? 真空閥系統
      
					型號：3/8”，2”，4”，22“
      
					
      
					? 真空室加熱系統
      
					高溫度：0到400℃
      
					型號：滷素燈（選擇：微型加熱器）
      
					基片型號：球面型或行星型
      
					轉速：0到30轉速/分
      
					軟起，軟停，可調速瀘
      
					
      
					? 電子控制系統
      
					型號：計算機控制面板
      
					可修改和改變任何需要的控制
      
					全程控制鍍膜以達到產品所需的要求
      
					提供所需要的技術信息
      
					
      
					? 真空計系統
      
					高真空感應器：2
      
					低真空感應器：1      		
				
					選擇配置
      
					? 薄膜沉積控制系統
      
					沉積控制：IC-5 （INFICON）
      
					MDC360 （MAXTEK）等等
      
					石英晶髓感應器:1，2，6頭
      
					
      
					? 光控離子源
      
					無柵型：直流型
      
					燈絲型：直流型，頻射型
      
					
      
					? 電子束源
      
					容量：15cc，25cc，40cc等等
      
					偏轉角度：180度或270度
      
					坩鍋：4，6，8倜等等
      
					
      
					? 深冷系統
      
					除霜室
      
					擴散泵
      
					
      
					? 水冷卻系統
      
					水或氣冷卻器      		
			
      
		      
	
      

      

      
  
      
  
      

      














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